광학현미경

 

DSX1000 Digital Microscope

DSX1000 디지털 현미경은 간편한 사용과 강력한 분석, 동석 이미징 기능을 결합하여 검사 워크플로를 간소화 합니다.

• 변경이 간편한 다양한 렌즈 중에서 선택
• 버튼 하나로 6가지 관찰 방식을 전환
• 빠른 매크로-마이크로 보기
• 텔레센트릭 광학 시스템으로 정확한 측정
• 빠르고 획득하기 쉬운 고급 측정

DSX1000 대물렌즈

매우 긴 작동 거리와 높은 개구수 옵션을 포함하는 당사의 17종 대물 렌즈 라인업은 광범위한 이미지를 유연하게 획득할 수 있습니다.

 

작동 거리가 매우 긴 대물 렌즈

• 고해상도 및 긴 작동 거리를 모두 제공
• 전자 회로 기판에 이상적

	51.7	23~164X	19,200~2,740	0.03
* DSX10-SXLOB1X는 PO 관찰을 지원하지 않음
	66.1	49~493X	9,100~910	0.09
* DSX10-SXLOB3X는 PO 관찰을 지원하지 않음
	41.1	164~1644X	2,740~270	0.2
* DSX10-SXLOB10X는 PO 관찰을 지원하지 않음

 

작동 거리가 긴 고해상도 대물 렌즈

• 고해상도 및 긴 작동 거리를 모두 제공
• 전자 회로 기판에 이상적

	30	49~493X	9,100~910	0.09
* DSX10-XLOB3X는 PO 관찰을 지원하지 않음
	30	164~1644X	2,740~270	0.3
	20	320~3280X	1,370~140	0.4
	4.5	650~6570X	690~70	0.8

 

개구수가 높은 고성능 대물 렌즈

• 나노 단위의 고성능
• 반도체와 웨이퍼처럼 고해상도가 필요한 샘플 관찰

 

 

	3.5	26~206X	17,100~2,190	0.04
* MPLFN1.25X는 BF 및 OBQ 관찰만 지원
	10.7	44~411X	10,200~1,100	0.08
* MPLFN2.5X는 BF 및 OBQ 관찰만 지원
	12	82~822X	5,480~550	0.15
	6.5	164~1644X	2,740~270	0.25
	3	320~3280X	1,370~140	0.4
	1	820~8220X	550~55	0.75
	0.35	820~8220X	550~55	0.95
* MPLAPON50X는 DF 및 MIX 관찰을 지원하지 않음
	10	164~1644X	2,740~270	0.25
	12	320~3280X	1,370~140	0.4
	10.6	820~8220X	550~55	0.5

 

결함 분석을 위한 디지털 현미경

DSX1000 디지털 현미경은 속도가 빠르고 정확도와 반복성을 보증하여 빠른 결함 분석에 적합합니다.

하나의 시스템으로 예비 검사 및 미크론 수준의 분석 가능

• 전체 모습을 한 눈에 23X~8220X 배율 범위
• 샘플에 충돌할 가능성 최소화
• 여러 각도에서 샘플 보기

지원 모델

클릭 한번으로 다중 관찰, 즉시 전환으로 시간 절약

• 모든 배율에서 모든 관찰 방식 사용 가능
• 6가지 관찰 방법 중에서 선택하고 클릭 한 번으로 전환

지원 모델

보증된 측정 정확도 및 정밀도

• 보증된* 측정 정밀도를 통해 자신 있게 측정할 수 있습니다
• 현장 보정을 통한 안정적인 측정

지원 모델

* XY 정확도를 보장하려면 Olympus 서비스 기술자가 보정 작업을 수행해야 합니다.

개선된 분석 기능으로 강력하고 검사 용도가 다양한 DSX1000

• 프로파일, 표면 내 단계, 표면 조도 등 복잡한 측정을 지원합니다.
• 사용이 간편한 고급 기능으로 더 빨라진 분석

지원 모델

 

이미지 분석 소프트웨어로 검사 속도 및 효율성 개선

올림푸스 Stream 소프트웨어는 지능적인 단계별 워크플로우를 제공하여 최신 표준을 기반으로 정량적 측정 및 전문적인 보고가 가능한 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. 어떠한 경험 수준의 사용자도 모든 이미지 조건에서 이미지 획득에서 표준 보고에 이르기까지 복잡한 이미지 분석 작업을 수행할 수 있습니다.

유연성을 위해 설계된 이 소프트웨어는 데이터 보안 및 안정성을 유지하면서 다양한 샘플에서 빠르고 정밀한 관찰을 수행하는데 필요한 광범위한 기능을 갖추고 있습니다. 옵션 솔루션을 통해 사용자는 품질 분석, 연구 개발, 프로세스 개발 및 품질 관리를 포함하여 올림푸스 Stream 소프트웨어를 애플리케이션에 적용할 수 있습니다.

Specifications

Main Unit Specifications

			DSX10-SZH	DSX10-UZH
Optical system	Optical system		Telecentric optical system
	Zoom ratio		10X (motorized)
	Zoom magnification method		Motorized
	Calibration		Automatic
	Lens attachment		Quick-switch, coded lens attachments automatically update magnification and visual field information
	Maximum total magnification (on monitor)		7,000X
	Working distance (W.D.)		66.1 - 0.35 mm
	Accuracy and repeatability (X-Y plane)	Accuracy * 1	± 3%
		Repeatability 3 σn-1	2%
	Repeatability (Z axis) * 2	Repeatability σn-1	1 μm
Camera	Image sensor		1 / 1.2 inch, 2.35 million pixel color CMOS
	Cooling		Peltier cooling
	Frame rate		60 fps (maximum)
	Norma		1,200 × 1,200 (1:1) / 1,600 × 1,200 (4:3)
	Fine		Not available	1,200 × 1,200 (1: 1) / 1,600 × 1,200 (4: 3)
	Super fine		Not available	3,600 × 3,600 (1: 1) / 4,800 × 3,600 (4: 3)
Illumination	Color light source		LED
	Lifetime		60,000 h (design value)
Observatio	BF (brightfield )		Standard
	OBQ (oblique )		Standard
	DF (darkfield)		Standard LED ring divided into four divisions
	MIX (brightfield+darkfield )		Standard Simultaneous observation of BF + DF
	PO (polarization)		Standard
	DIC (differential interference)		Not available	Standard
	Contrast up		Standard
	Depth of focus up function		Not available	Standard
	Transmitted lighting		Standard * 3
Focus	Focusing		Motorized
	Stroke		101 mm (motorized)

Objective		DSX10-SXLOB	DSX10-XLOB	UIS2
Objective lens	Maximum sample height	50 mm	115 mm	145 mm
	Maximum sample height (free angle observation)	50 mm
	Parfocal distance	140 mm	75 mm	45 mm
	Lens attachment	Integrated with lens	Available
	Total magnification	20X - 1,400X	42X - 5,600X	23X  - 7,000X
	Actual F.O.V	19,200 μm - 270 μm	9,100 μm - 70 μm	17,100 μm - 50 μm
Adaptor	Diffusion adaptor (option)	Available	Not available
	Eliminate reflection adaptor (option)	Available	Not available
Lens attachment	Number of objectives that can be attached	Up to 1 piece (attachment is integrated with lens)	Up to 2 pieces
Objective lens case		Three lens attachments can be stored

Stage		DSX10-RMTS	DSX10-MTS	U-SIC4R2
Stage	XY stage: motorized / manual	Motorized (with rotation function)	Motorized	Manual
	XY stroke	Stroke priority mode : 100 mm × 100 mm Rotation priority mode : 50 mm× 50 mm	100 × 100 mm	100 × 105 mm
	Rotation angle	Stroke priority mode : ±20 ° Rotation priority mode : ±90 °	Not available
	Display rotation angle	GUI	Not available
	Load-resistance	5 kg (11 lb)		1 kg (2.2 lb)

System Tota	Upright frame system	Tilt frame system
Weight (frame, head, motorized stage, display, and console)	43.7 kg (96.3 lb)	46.7 kg (103 lb)
Power consumption	100 - 120V / 220 - 240 V, 1.1 / 0 .54A, 50 / 60Hz