Khi trộn lẫn thành phần dầu làm mát, bôi trơn vào phân tử kim cương siêu nhỏ, ta sẽ có được dạng bùn được sử dụng ở công đoạn mài, đánh bóng tinh. Sản phẩm này mang lại hiệu quả vượt trội trong việc xử lý bề mặt siêu nhỏ và giảm hiện tượng bị dồn ứ lại do ma sát lúc thao tác hay do chất liệu mẫu khi dùng với giấy nhám thông thường.
Hợp chất mài và đánh bóng kim cương có các loại như Fine-DT, DO, DH, DQ, v.v.. Tùy theo công đoạn tiền xử lý mài tinh, chất liệu mẫu, cấu trúc, mục đích quan sát mà sử dụng kết hợp với tấm đánh bóng (Polishing Pad) sao cho phù hợp.