Grinding작업 시 Disk Paper와의 마찰이나 Sample의 구성 소재나 특성에 의해 밀림, 표면 스크러치등 sample의 정확한 관찰, 측정을 방해하는 요인이 발생할 수 있다.
이러한 증상을 Polishing 작업에서 해결을 해야 정확하고 정밀한 관찰이 가능하며 이와 같은 전반적인 과정을 Fine Polishing 작업이라고 한다.
Fine Polishing 작업에는 관련 소모품 및 장비들이 활용 되어진다.
그리고 Fine Polishing 단계의 작업은 Ion Milling(이온밀링), Focused ion beam(FIB) 작업 또는 SEM(Scanning Electron Microscope) 촬영에 있어서도 Fine Polishing 처리가 결과에 많은 영향을 주므로 반드시 선행되어야 하는 작업이다.