Fine Polishing 작업의 Final 단계 전용 장비로 장시간 작업을 요하는 정밀 Polishing 작업에 적합한 장비이다. 기존 사용중인 일반 연마기(Polisher) 장비를 보유중인 경우라도 기존 작업 단계에 Nano Finsher를 추가하여 수동 Polishing 작업 시 발생 할 수 있는 숙련도에 의한 작업 편차나 장시간 작업에 의한 피로도를 배제할 수 있으며 균일한 작업 효율을 확보 할 수 있다. 장시간의 Polishing 작업에도 연마제의 보충이 필요하지 않아 원활한 작업이 가능하다.
- Chamber에 Fine Polishing 연마제와 Pad를 셋팅한 후 Force Level 을 확인하며 Force 조절 나사를 사용하여 원하는 Level 을 맞춘 후 Force 고정나사로 고정 후 사용한다.