Cross Section

Ion Milling                                     

Ion Milling이란 시료의 표면 및 단면에 Ar(아르곤) 이온 빔을 이용한 밀링 방법입니다.

비활성(Inert) 기체인 아르곤 가스를 활성(Reactive)으로 변환하여 이때 형성된  아르곤 양이온을

Ion Gun에서 집속하여 이온 빔으로 시료에 쏘아주는 물리적인 밀링 방식이다. 이때 시료 표면에 형성된

유기막을 제거하여 이물 및 불량 분석을 보다 쉽고 정밀하게 볼 수 있게 합니다.

Nano Sacle Coated Powder

Multi Layer Material

Ion Milling 주요 활용 예

- 미세 표면 구조 분석을 위한 표면 밀링

- 미세 도금 층의 층간 분석

- 밀림으로 인한 불량 분석이 어려운 시료

- 각 층 건조 도막 간 매칭 성 최적화 특성을 위한 위한 단면 밀링

- 금속/세라믹/반도체 등 벌크 재료의 SEM 및 TEM 분석용 시편 제작

 

 

위와 같이 미세 Layer 관찰에 주로 사용되지만 시료의 전처리 작업이 부족하다면

Ion Milling 처리 후 원하는 결과 값을 확인 할 수 없습니다. 이때 필요한 전처리 작업이

Fine Polishing 단계입니다.

 

Fine Polishing                                             

Fine Polishing 이란 일반적인 표면 연마의 최종 단계로 방법 및 단계는 시료에 따라 다양합니다.

일반적인 ㎛ 단위의 불량 분석은 Fine Polishing만으로도 정확한 단면 분석이 가능합니다.

다만 Ion Milling과의 관계를 보자면 Ion Milling 작업 전 전처리 단계로 보시면 됩니다.

Ion Milling 시료 제작의 전처리 단계로 Sand-Paper만으로 제작 또는 Sand-Paper 후 Alumina 등

한 단계 만으로 연마하여 전 처리를 마무리 하는 방법은 정확한 Ion Milling 분석을 위해서는

맞지 않는 방법입니다. 시료에 따라 연마 단계를 세분화 해야 되며 재질에 따라 방식을 달리 하여야

합니다. 전 처리가 제대로 되지 않고 그 부분을 Ion Milling만으로 처리하게 되면 장시간 사용으로 고온이 발생하며 시료에 직접적인 영향을 주어 변형 등으로 인해 정확한 분석 값을 얻을 수 없습니다.

따라서 Ion Milling은 전처리 작업인 Fine Polishing이 꼭 동반되어야 하는 분석입니다.

 

   Laser Via Hole

Electroless Plating

Plating

Invar

당사는 단면 분석(Cross Section)에 관련된 장비 및 소모품을 국내에서 직접 제작/판매 하고 있으며

또한 다년간의 노하우를 바탕으로 소재에 따른 분석 방법 및 시편 처리 기술을 컨설팅 해드리고 있습니다.